凤凰网科技在11月9日发出的消息里提到, 根据韩国半导体媒体THE ELEC的报道来看, 三星电子那边用于制造半导体所使用的蚀刻工艺配方数据, 竟然被曝光流出到了泛林半导体韩国公司的手里。

三星内部进行了一番调查之后发现, 超出授权范围的这样一种数据传输行为, 曾经不止一次地发生过情况, 并且他们现在也把这件事情给看作是那种性质相当严重的一次技术泄露事件。

三星核心制程机密疑遭泄露,关键数据流向芯片供应链伙伴(图1)

泛林半导体是三星半导体产线设备供应商, 其核心角色在于供应蚀刻与沉积相关设备, 在设备实际运行过程中所产生那些数据, 会被保存在工厂内部设置的监控服务器或者其他同类系统之中, 根据双方所签署的那个协议内容, 泛林半导体可以在被限定的那种范围之内去获取部分来自设备的运行数据, 其主要目的是为了对设备进行性能优化以及完成相关的维护工作, 并且这一过程需要由其韩国公司 entity 向三星方面提出具体的数据申请请求。

有报道说, 三星那边进行了一个调查, 最后发现了一些事情, 就是有一部分工艺配方这个东西, 这些配方本来是不允许拿出去给外人看或者给别人用的, 结果却变成了单独的文件形式, 流到了那家叫泛林韩国的公司手里去, 关于相关数据的传输这件事呢, 它是来自于一些不符合规矩的申请渠道, 并不是只发生了一次两次的单个行为, 三星方面是在今年的那个后半期, 也就是下半年这个时间段里面, 才发现了这一堆问题的存在。

半导体工艺配方记录设备温度、腔体压力、气体流量和处理时长等关键参数, 这些关键参数直接影响芯片良率、性能及生产稳定性, 因此, 它属于晶圆制造企业的核心技术资料。

泛林半导体韩国公司, 在11月6日这一天, 宣布做出了一个决定, 由金泰元来接替朴俊弘, 出任CEO这一职务。有一部分行业内的人士, 他们把这些事情联系起来看, 认为人事变动的换帅举动, 跟之前发生的数据泄露事件有关系。

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不过, 目前并没有任何公开的信息, 能够证明这两者之间存在直接关系。另外, 三星电子这家公司, 还有泛林半导体韩国公司, 这两家企业, 都没有对THE ELEC这个媒体提出的采访询问做出回应。(作者/宋淑美)。

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